欧宝体育网页登录版：珂玛科技：公司为半导体晶圆厂商和国内半导体设备厂商研制出产并出售多款陶瓷加热器产品

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  在承受调研者发问时表明，公司自2016年接受国家“02专项”课题“PE用陶瓷加热盘的关键技能与产业化”起，开端布局陶瓷加热器，把握了用于陶瓷加热器的氮化陶瓷材料配方以及特别成型和屡次高温烧结工艺、杂乱加工工艺和外表处理等特别工艺技能要求。2020年公司课题经过严重专项检验，随即与多家设备用陶瓷加热器。根据多年技能堆集、研制及产业化布局，自2023年底开端公司设备核心部件陶瓷加热器完成国产代替，该“功用-结构”一体模块化产品处理了半导体晶圆厂商厂商研制出产并出售多款陶瓷加热器产品，安装于SACVD、PECVD、LPCVD和激光退火等设备，部分陶瓷加热器产品已量产并很多应用于晶圆的薄膜堆积出产工艺流程，并且公司还有多款陶瓷加热器产品经过多个半导体晶圆厂及国内半导体干流设备厂商认证。